ЗАО «НПЦ «СпецЭлектронСистемы»»

«R-Technologies» в рамках данного проекта выступал в качестве Генерального проектировщика. Разработаны все разделы документации, включая архитектурные решения, инженерные и процессные системы, электроснабжение, системы безопасности и комплексная автоматизация. Заказчик арендовал под размещение производственных участков два модуля чистых помещений в кластере микроэлектроники в технополисе «Москва».

Модули представляют собой построенные чистые зоны со свободной планировкой и минимальным набором инженерных систем. Задачей проекта была доработка данных модулей до уровня необходимого для беспрепятственного протекания технологических процессов. Данный проект выполнен в среде BIM проектирования, для производства создана информационная модель. Координация систем выполнялась в среде Navisworks.

Была выполнена новая планировка чистых зон, добавлено зонирование с различными классами чистоты и корректными каскадами давления, обособлены температурные зоны. Чистые зоны были объединены между собой при помощи тамбур-шлюза. Поскольку имеющиеся системы кондиционирования воздуха не соответствовали требованиям по обеспеченности параметров подаваемого в чистые помещения воздуха была произведена модернизация центральных кондиционеров.

Для прецизионного поддержания заданных перепадов температур в производственных помещениях разработана система холодоснабжения воздухоохладителей чистого помещения Sensible cooling. Для каждой температурной зоны предусмотрены отдельные ветки с возможностью индивидуального регулирования. Для охлаждения технологического оборудования спроектирована система Process cooling water.

Для обеспечения технологического оборудования процессными средами предусмотрены станция водоподготовки, станция подготовки дистиллированной воды, система подачи сжатого воздуха, система вакуума и система подачи специальных технологических газов. Помимо чистых помещений проектом также предусмотрена административная часть, в которой разместились службы Заказчика и производственный персонал.