Сколковский институт науки и технологий

Центр коллективного пользования «Чистые помещения для микро- и нанообработки» (Micro- and Nanofabrication Cleanroom Shared Facility) является одним из перспективных центров. Сколковского института науки и технологии, необходимым для реализации самых современных научных и технологических задач. Мощности центра будут использоваться как внутренними пользователями института, так и внешними образовательными, научными и производственными организациями.

Центр является инфраструктурным проектом, с размещенным в нем нанотехнологическим оборудованием, для изготовления микро и наноустройств фотоники, микромеханики, квантовой электроники и некоторых других на подложках из полупроводникового материала или диэлектрика. Производство будет иметь экспериментальный характер с высокой точностью и повторяемостью

ООО «R-Technologies» в данном проекте выступал в качестве Генерального проектировщика.

В рамках создаваемого исследовательского центра предусмотрены производственные, учебные, складские и административные помещения. Для обеспечения функционирования оборудования предусмотрена вся необходимая инженерная инфраструктура, в том числе: системы поддержания микроклимата и чистоты воздуха, технологические системы вентиляции и холодоснабжения, системы электроснабжения и автоматизация инженерных систем, специальные среды (деионизованная вода, газоснабжение, снабжение жидкой химией и пр.).

Общая площадь центра более 2500 м2 из которых 1200 м2 чистые помещения с классом чистоты ИСО 4-7 согласно ГОСТ 14644-1-2017. Для обеспечения необходимой кратности воздухообмена предусмотрено более 700 фильтр-вентиляционных модулей. Для обеспечения технологического процесса в помещении предусмотрено неактиничное освещение (жёлтый свет).

На этапе проектирования последовательно была разработана проектная документация (стадия П) по всем разделам согласно постановлению Правительства РФ от 16.02.2008 №87, пройдена экспертиза, а затем разработан полный комплект Рабочей документации.

Проектирование центра производилось в программной среде Revit. Была создана информационная модель (BIM) со всеми архитектурными и конструктивными элементами и инженерными системами с уровнем детализации LOD400.

Для максимально точной координации коммуникаций со строительными конструкциями и существующими инженерными системами перед началом проектирования мы выполнили трёхмерное сканирование объекта и осуществляли проектирование с привязкой к полученному облаку точек.